九峰山实验室（JFS）与逍遥科技（LDA）正式联合发布了面向MEMS设计师的MEMS PDK 0.5版本。该PDK基于九峰山实验室的MEMS工艺平台构建，核心包含经硅验证的MEMS基元件库、参数化版图单元（PCells）以及基于pVerify构建的完整DRC规则集，旨在为设计师提供一站式的EDA工具链支持。
     在具体实现上，九峰山实验室负责定义并校准器件物理模型，逍遥科技则利用自主研发的OpenLayout版图设计软件和pVerify物理验证工具，将工艺约束与器件模型集成。其中，OpenLayout支持Python脚本驱动的参数化PCell设计，允许设计师通过调整几何参数快速生成符合工艺规则的器件版图；pVerify则负责确保版图满足关键的工艺合规性要求。


     此外，逍遥科技同步开放了OpenLayout的开发试用计划，邀请设计师和高校课题组申请体验。双方表示MEMS PDK 0.5仅是起点，未来将持续推进OpenLayout与多物理场仿真工具的接口开发，致力于构建覆盖“版图—仿真—流片”全流程的开放MEMS设计生态。