TQV

TQV,全称Technology Qualification Vehicle(技术品质认证平台/技术验证载体),其源于半导体行业在先进工艺开发开发中对高效、可靠性验证方法的迫切需求。简单来说,它是一个为验证和优化特定半导体制造工艺而设计的专业测试芯片。《JEP001-3B 代工厂工艺认证指南》中,明确将TQV作为“Level 2”工艺认证的测试方法。


解微TQV 服务包为您提供从“工艺摸底”到“量产就绪”的一站式解决方案。 TQV内容包括:①设计文件包:工艺流程、GDS 版图、多物理场仿真、紧凑模型;②TQV验证芯片含五大功能分区:工艺监控、DOE、器件积木、TQV、和可靠性验证;③器件参数、测试方案和可靠性计划;④工艺参数、工艺窗口、和PDK成长规划;⑤晶圆表征、CA和FA计划。 可直接根据需求选用适配的TQV服务包;

SiC TQV

压电MEMS TQV

硅光电 TQV

TFLN TQV


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定制化TQV服务

定制化TQV服务

面向差异化业务需求,提供专属 TQV 设计开发,解决标准方案无法满足的业务诉求。